半導体製品

次世代の18インチ（450mm）を視野に、大口径旋盤やマシニング加工設備を導入し、12インチ（300mm）ウエハー向け炉心管など大型製品の製造技術を確立しています。

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  大口径旋盤

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最新鋭のNC加工機による精密研削加工、細穴穿孔加工など精密微細加工技術を確立しています。
また、ガス導入管の細穴加工などレーザー加工機による任意曲線切断加工も可能です。

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  細管加工例

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  レーザー細穴加工例

火加工以降のすべての工程をクリーン環境で行うことで、製品のコンタミネーション（汚染）発生を極限まで抑えています。特に、出荷検査・最終洗浄・減圧パッケージの工程はクラス1000以下の徹底したクリーン環境で行われ、汚染のない状態のまま納品することができます。

石英ガラス製品は、お客様からの要望に基づくカスタムメイドです。
ご注文にあたり、仕様、納期の詳細について、お問い合わせフォームをご利用いただくか、最寄りの営業所までお問い合わせ下さい。

半導体製造プロセスの拡散CVD、洗浄、エッチングに至るまであらゆるプロセスに対応しています。
12インチ（300ｍｍ）以上の大型製品の製造にも対応しています。

• チューブ製品

  

  • プロセスチューブ

  • アウターチューブ

  • インナーチューブ

• プロセス治具・エッチャー製品

  

  • 石英ボート

  • その他治具全般

  • 各種チャンバー

  • リング

• 洗浄関連製品

  

  • オーバーフロー槽

  • キャリア

  • ガイド

• 化合物半導体分野

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  MO-CVDをはじめとする各プロセスに対応しています。

  • チューブ型反応容器

  • ボックス型反応容器

  • 大型トレイ

• 光ファイバー分野

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  光ファイバー母材加工、バーナー、チャンバーなど各プロセスの石英製品に対応しています。

  • 石英炉心管

  • 石英多重管バーナー

  • 光ファイバー母材細穴加工

  • 各種石英チャンバー

• ソーラー分野

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  シリコンウエハー用石英製品に対応しています。

  • 石英チューブ

  • 石英ボート

優れた特性を持つ超高純度高密度SiC焼結体 PureBetaをご紹介します。

超高純度ファインセラミックスSiC部材（PureBeta）

窒化アルミニウムは、その高熱伝導性、高耐食性を活かして、半導体製造装置用のヒーターや静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレートなどで使用されています。 また、MRI等の医療機器用の部品にも使用されています。 MARUWAでは長年培ってきた材料技術をベースに、研究開発・素材作製・機械加工まで一貫した体制を確立しています。　独自のホットプレス法と様々な機械加工を用いた生産により、半導体製造装置や医療関連における最先端の技術要求を満たすことが可能です。

窒化アルミニウム部品

半導体製造装置用部品（ヒーター、静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレート）、医療機用部品